В России создают стратегический центр микроэлектроники
Создание Научно-технологического центра фотошаблонов (НТЦ ФШ) в Зеленограде — это важный шаг для развития российской микроэлектронной отрасли. На реализацию этого проекта будет направлено не менее 31,7 млрд рублей.
Основные аспекты проекта:
Финансирование:
Из общей суммы 24,3 млрд рублей выделяет Минпромторг на закупку технологического оборудования, а 7,4 млрд рублей предоставит правительство Москвы на строительство производственного комплекса. Первоначально стоимость строительства оценивалась в 3,6 млрд рублей, но после расширения технического задания смета увеличилась более чем вдвое.
Оборудование:
Для оснащения центра планируется приобрести 73 единицы специализированного оборудования. На данный момент законтрактованы 49 установок, из которых 30 уже поставлены. Большая часть техники будет закуплена у зарубежных производителей, однако также будут использоваться отечественные и белорусские разработки. Среди них — многолучевой лазерный генератор изображения для изготовления фотошаблонов с нормами до 250 нм и система контроля топологии.
Сроки реализации:
Большинство оборудования должно быть установлено и введено в эксплуатацию до конца 2026 года. В этот же срок должен быть построен новый производственный корпус площадью 14,5 тыс. квадратных метров.
Проектная мощность:
Центр сможет производить не менее 5,5 тыс. фотошаблонов в год с возможностью увеличения до 10 тыс..
Этапы освоения технологий:
- 2026–2027 годы: Выпуск фотошаблонов для техпроцессов 350 и 250 нм.
- 2028–2029 годы: Освоение норм 180 и 90 нм.
- 2030 год: Переход к производству фотошаблонов для 65-нм техпроцесса, а затем и для 28-нм.
Заказчики:
Основными потребителями продукции НТЦ ФШ станут российские производители микроэлектроники, такие как «Микрон», «НМ-Тех» и НИИМЭ. Это позволит значительно улучшить качество и доступность отечественных микросхем, что является ключевым фактором для обеспечения технологической независимости страны.